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国内唯一12英寸CMP设备制造商!华海清科要来科创板了 背后清华系实控
来源:高新技术处 发布时间:2020-10-16 17:26

10月15日,上交所受理了华海清科股份有限公司(下称“华海清科”)的科创板申报材料,公司主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。

《科创板日报》记者了解到,CMP设备主要用于单晶硅片制造和芯片制造前道工艺,其是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的设备之一,也是任何芯片制造商不可或缺的必备工具。

招股书显示,由华海清科生产的CMP设备,其主流机型不仅填补了国内空白,同时打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,“公司是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商”。

截至招股书披露,华海清科CMP设备已累计出货43台,在手订单26台,其设备已经应用在中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外集成电路制造商的大生产线中。

实现进口替代

CMP设备有多重要?据了解,今天生产的每块微处理器都使用铜连线,而唯一能够对铜金属层进行抛光的CMP设备更是任何芯片制造商不可或缺的必备工具。

但与半导体设备光刻机类似,CMP设备此前也面临着“卡脖子”的窘境。随着前期CMP设备厂商的“厮杀角逐”,市场格局逐渐集中在2018年的两大国际龙头企业——美国应用材料和日本荏原,前述两家公司的市场份额在2018年合计达到90%。

因此,尽管2019年大陆CMP设备市场规模达4.6亿美元,但绝大部分的高端CMP设备仍然依赖于进口。

那么,对于生产CMP设备的厂商而言,如何才能衡量一个厂家CMP设备研发技术水平?《科创板日报》记者在招股书中找到一个答案:12英寸CMP设备是业界公认的衡量研发技术水平高低的标杆产品。

按照上述标准去衡量,除美国应用材料和日本荏原外,华海清科是目前国内唯一实现 12 英寸系列CMP设备量产销售的半导体设备供应商。

《科创板日报》记者了解到,华海清科的CMP设备主要包括300系列和200系列,CMP200系列主要包含8英寸CMP设备,300系列则涉及12英寸CMP设备。与8英寸相比,12英寸CMP设备直径增长50%、面积扩大125%,其精度要求更高,需要更先进的抛光头超精密分区压力控制技术和更先进的终点检测技术。

另据招股书显示,华海清科生产的12英寸系列CMP设备已获得了多个集成电路制造商的认可。据统计长江存储、华虹无锡、上海华力一二期项目、上海积塔在中国国际招标网上公布的2019年至2020年9月期间CMP设备采购项目的评标结果及中标结果:华海清科中标8台,占比21.05%;2020年1-9月共招标采购68台CMP设备,其中华海清科中标28台,占比41.18%;12英寸CMP设备的其余市场份额由美国应用材料、日本荏原取得。

扣非利润持续亏损

300系列同样也是华海清科的主要营收来源,2017年至今年1-6月,该系列产品实现营收分别为 1330万元、3174.27万元、1.95亿元和3850万元,占各期营收的比重分别为69.33%、89.01%、92.39%以及63.85%。

可以明显的看到,2019年华海清科300系列形成的销售收入较2018年增长了1.63亿元,同比增长513.94%,对此公司解释称,是当期有12台300系列 CMP 产品确认销售收入(注:当期一种只生产了13台300系列),且随着公司推出升级功能和配置、性能更佳的新产品,例如 300Dual 型产品,导致当年确认收入的300系列产品的平均单价较去年有所提升。

值得注意的是,CMP设备发出后需在客户生产线上进行安装、调试,并在客户的生产线上完成工艺测试、获得客户验收后方可确认销售收入,因此上述12台确认销售收入的设备是当期生产的设备所确认的收入,还是此前年度生产的设备在今年确认的收入,华海清科未具体披露。

而在今年上半年,华海清科生产了10台300系列,但只销售了2台,公司解释称,受今年疫情的影响,其从3月份开始陆续发出10台CMP设备,截至报告期末尚未完成验收。另外,华海清科还时隔两年在今年上半年生产了2台200系列,并销售出1台。

《科创板日报》记者注意到,尽管华海清科的200系列和300系列的平均价格都在“与年俱增”(300系列从2017年的1330万元/台的均价涨至今年1至6月均价1925万元),但公司扣非后的净利润在报告期内仍持续为负。

2017年至今年1至6月,公司扣除非经常性损益后净利润分别为-3858.09万元、-6783.67万元、-4772.33万元和-3858.12万元,持续的研发投入、产品销量较小尚未形成规模效应是导致报告期内公司存在连续亏损的主要原因。

为此,除了持续聚焦CMP设备领域外,华海清科也在重点开拓CMP设备的关键耗材更新与技术服务、晶圆再生、减薄设备等业务,尝试挖掘新的利润增长点。

其中,华海清科切入耗材领域的逻辑是:随着集成电路制程节点发展至7nm 以下时,所需的抛光步骤也增加至30余步,大幅刺激了集成电路制造商对 CMP设备的采购和升级需求。而CMP设备是使用耗材较多、核心部件有定期维保更新需求的制造设备之一,因此CMP设备厂商通常也会基于自身设备及工艺技术向客户提供专用耗材销售和关键耗材维保等技术服务,在设备销售之外获取更长期稳定和更高盈利能力的服务收入。

报告期内,华海清科来自于配套材料及技术服务的收入占主营业务收入的比例分别为26.31%、10.99%、7.61%和19.27%。

知识产权入股

股权结构方面,《科创板日报》记者注意到,在华海清科有限设立时,除了三名股东以货币资金出资外,剩余两名股东:清控创投和康茂怡然均以知识产权作为出资方式,对应的认缴出资额为1836万元和1224万元。

招股书显示,上述合计3060万元的合缴出资对应的知识产权具体为是30项化学机械抛光核心技术(包含 24 项专利技术和 6 项已提交专利申请的专有技术)。

此外在2019年4月29日,清华大学成果与知识产权管理办公室作出《科技成果处置决定》,同意将机械系路新春团队完成的‘化学机械抛光设备与成套工艺’(含14项专利权和1项专利申请权),作价3805.48万元,增资入股华海清科有限,占股34.27%,“本次处置所获股权学校15%和机械系15%划转清控创投持有,奖励团队70%,其中路新春57.53%、雒建斌 6.39%、朱煜6.08%”。

在华海清科有限2019年5月15日作出股东会决议中,清控创投增加知识产权出资938.66万元;路新春增加知识产权出资1800万元;雒建斌增加知识产权出资200万元;朱煜增加知识产权出资190.20 万元。

而在完成股改后,华海清科于今年3月又进行了一次增资。具体方式为,公司在北京产权交易所公开挂牌引入1名联合体外部投资者,增资金额不低于3.5亿元,新股东持股比例不高于25%。

最终华海清科以12亿元(即20元/股)的投前估值引入1 名联合体(13 家投资机构)对公司进行增资,投资机构包括国投基金、天津领睿、国开科创、金浦国调、金浦新兴、浙创投等。

截至招股书披露,清控创投直接持有公司30067237股股份,占公司总股本的 37.5840%,为公司控股股东,公司实控人为清华大学。

(来源:2020年10月16日科创板日报)

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